发明名称 |
应用于透明基底的薄膜的实时温度、光学带隙、膜厚度和表面粗糙度测量 |
摘要 |
本发明提供一种用于与沉积在大体透明基底(28)例如光伏电池上的薄膜半导体材料(26)的生产相关的方法和装置(20),用于检测薄膜(26)的特性,例如它的温度、表面粗糙度、厚度和/或光学吸收特性。由膜(26)发射的漫散射光(34,34’)得到的光谱曲线(44)揭示了特征光学吸收(Urbach)边。此外,吸收边可用于评价离散的材料样本(22)之间或同一材料样品(22)的不同位置之间的相对表面粗糙状况。通过比较两个或多个光谱曲线的吸收边特性,可以进行定性评价以确定膜(26)的表面粗糙度是优质还是劣质。 |
申请公布号 |
CN103003664A |
申请公布日期 |
2013.03.27 |
申请号 |
CN201180034055.9 |
申请日期 |
2011.07.11 |
申请人 |
K-空间协会公司 |
发明人 |
达里尔·巴利特;查尔斯·A·泰勒二世;巴里·D·维斯曼 |
分类号 |
G01B11/30(2006.01)I;G01N21/958(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/30(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
邓琪 |
主权项 |
一种用于评估应用于大体透明基底的薄膜的至少表面粗糙度的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:a)提供大体透明的基底;b)在基底上沉积材料薄膜;该膜的材料组分具有光学吸收(Urbach)边;该膜具有暴露的上表面,该上表面具有可测的表面粗糙度;c)使白光与沉积在基底上的膜相互作用以产生漫散射光;d)用与膜间隔开的探测器探测由膜发射的漫散射光;e)在光谱仪中收集探测到的光;利用光谱仪生成光谱数据,其中探测到的光被解析成相应光强度的离散的波长组分;f)在光谱数据中确定光学吸收(Urbach))边;以及g)根据吸收边确定膜的相对表面粗糙度。 |
地址 |
美国密歇根州德克斯特镇主教圈东部2182 |