一种带法-珀腔结构的硅微自谐振二维加速度传感器

摘要

本发明公开了一种带法-珀腔结构的硅微自谐振二维加速度传感器，包括衬底、筒状结构的固定支撑、苜蓿叶形状的惯性质量块和谐振微梁；惯性质量块通过对称设置的四个谐振微梁悬挂于固定支撑的中部，并位于衬底的正上方；谐振微梁与衬底之间构成高精度的法布里-珀罗谐振腔。该传感器整体呈对称微结构，确保在两个检测方向灵敏度一致；能在有限体积下实现较大的敏感质量；能在相同面积内制作出相对较长的谐振微梁；传感器直接输出频率信号，处理电路简化；频率信号具有高的抗干扰能力和稳定性；使用单个非调制光源完成激励，减小了系统的复杂性，提高了可靠性；激励源与振动元件之间无机械接触，灵敏度高、精度高。

主权项

一种带法‑珀腔结构的硅微自谐振二维加速度传感器，其特征在于：包括衬底（1）、固定支撑（2）、惯性质量块（3）和谐振微梁（5）；所述固定支撑（2）为筒状结构，固定支撑（2）的底端固定在衬底（1）上；所述惯性质量块（3）为矩形结构，在惯性质量块（3）的四周中部分别设有内凹结构的凹腔；惯性质量块（3）通过四周凹腔内分别设置的、呈对称结构的谐振微梁（5）悬挂于固定支撑（2）的中部，并位于衬底（1）的正上方；所述谐振微梁（5）的一端连接在惯性质量块（3）的凹腔内正中部，另一端连接在固定支撑（2）上；所述谐振微梁（5）通过固定支撑（2）与衬底（1）欧姆接触；所述谐振微梁（5）与衬底（1）之间构成高精度的法布里‑珀罗谐振腔（4）。