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发明名称 IODATE-CONTAINING CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING COMPOSITIONS AND METHODS
摘要
申请公布号 IL192551(A) 申请公布日期 2013.03.24
申请号 IL20080192551 申请日期 2008.07.01
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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