承载介面装置

摘要

本发明中，安装盘以固定于壁体的方式构成，上述壁体配置于用以暂时保管收纳有晶圆之晶圆载体之保存处、与用以处理上述晶圆的制程处理装置之间。晶圆移载窗设置于上述壁体。载体台具有工作台以及载板，上述工作台自上述晶圆移载窗下端缘水平延设，上述载板为了支持上述晶圆载体而配设于该工作台，且为了传送上述晶圆载体而可对上述制程处理装置能够活动。暂存台具有为了暂时保管上述晶圆载体而水平配置于上述工作台正下方之暂存板。