磊晶制程系统及其制程方法

摘要

一种提升磊晶制程效率的系统及其制程方法。本系统包括一多层匣机构、一传输装置、一反应腔室与一冷却装置。其中冷却装置可快速冷却仍处于高温的承载盘与载于承载盘之上的已反应晶圆而不损伤磊晶层。于此系统之中，多个反应腔室共同使用一个冷却装置的丛聚设计可以减小系统占地面积，降低营运费用，以及增加产量，从而使系统产能得以提高。