高分子化合物，正型光阻组成物，及光阻图型之形成方法

摘要

一种高分子化合物，其为具有下述通式(a0-1)所表示之结构单位(a0)，与由含有酸解离性溶解抑制基之丙烯酸酯所衍生，且，不相当于该结构单位(a0)之结构单位(a1)，;〔化1〕;…(a0-1);[式中，R为氢原子、低级烷基，或卤化低级烷基；A为可具有取代基之2价之脂肪族环式基，B为可具有取代基之2价之烃基，r为0或1之整数，R1为酸解离性溶解抑制基]。