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经营范围
发明名称
光阻保护膜材料及图型之形成方法
摘要
[课题]提供即使于光阻膜上形成保护膜时,亦可更加确实取得矩形之良好光阻图型的光阻保护膜材料,以及使用此类材料形成图型之方法。;[解决手段]至少含有于聚合终端具有胺基或磺醯胺基之下述一般式(1)所示之高分子化合物为其特征的光阻保护膜材料。以及,至少含有,于基板上形成光阻膜之步骤,和于该光阻膜上,使用前述光阻保护膜材料形成光阻保护膜之步骤、和曝光步骤、和使用显像液予以显像之步骤为其特征之图型的形成方法。;【化52】;(1)
申请公布号
TWI390357
申请公布日期
2013.03.21
申请号
TW096123092
申请日期
2007.06.26
申请人
信越化学工业股份有限公司 日本
发明人
原田裕次;畠山润
分类号
G03F7/11;G03F7/027;H01L21/027
主分类号
G03F7/11
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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