使用超音波搅拌及应用电场之静电夹头之清理

摘要

本发明提供一种清理一ESC之方法，其包含使该ESC之一陶瓷表面浸入介电流体中；使该ESC之该陶瓷表面与一导电表面间隔开以使得该介电流体填充一在该ESC之该陶瓷表面与该导电表面之间的间隙；及使该介电流体经受超音波搅拌而同时应用电压至该ESC。