β-二亚胺配位子来源及其含金属之化合物与包含彼等之系统与方法

摘要

本发明提供带有至少一个β-二酮亚胺配位子之含金属的化合物、彼之制法及用途。于一些体系中，该含金属的化合物带有至少一个具有至少一个含氟的有机基团作为取代基之β-二酮亚胺配位子。于一些其他体系中，该含金属的化合物带有至少一个具有至少一个脂族基团作为取代基之β-二酮亚胺配位子，而该脂族基团经择为比先前技艺中知的一些含金属的化合物之β-二酮亚胺配位子中对应的取代基具有较大的自由度。该化合物可利用气相沉积法而沉积含金属的层。本发明亦提供包含该化合物之气相沉积系统。本发明亦提供β-二酮亚胺配位子来源。