分布式布拉格反射镜波导及其制造方法

摘要

一种分布式布拉格反射镜波导之制造方法，包含形成第一分布式布拉格反射镜于基板上；形成牺牲材料于第一分布式布拉格反射镜上；形成第二分布式布拉格反射镜于牺牲材料及第一分布式布拉格反射镜上；以及移除牺牲材料。一种应用此方法制成之分布式布拉格反射镜波导亦在此揭露。