真空电浆处理器

摘要

一种真空电浆处理器，包括一具有一接地壁部和一出口的处理室。在一与该壁部和该出口分隔开的处理室区域中以一第一RF频率来激发电浆。一结构将该电浆局限在该区域，同时使气体从该区域流至该出口。连接至该局限结构之处于一第二频率的RF电力使该局限结构位于一不同于接地的电位，以增加该电浆与该局限结构间的一鞘层大小并增加该局限结构的效用。该区域包括一透过一电路接地的电极，该电路与该第一频率形成串联共振且包括该鞘层之电容。