正型感光性树脂及新颖二噻茂化合物

摘要

一种正型感光性树脂，解决了知技术的难点，能用于半导体制造之微细图案形成，与知品相比，能使光阻感度更高，并且能期待显影后异物之减低等的效果；及一种于该正型感光性树脂之制造时极为适用的新颖二噻茂化合物。;本发明之正型感光性树脂之特征为：高分子主链具有以通式(1);[化1];(1);所示之构造，且本发明之二噻茂之特征：为以下述通式(2)表示;[化2];(2)。