基板检测装置及基板检测方法

摘要

本发明之基板检测装置中，控制部CPU811包括：测定预先予以选择之基准基板的测定点组间之电阻值，既基准电阻值之基准电阻测定部811a，对每组测定点组设定临限值之临限值设定部811c，测定被检测基板之测定点组间的电阻值，既检测电阻值之检测电阻测定部811d，及根据每组测定点组之临限值判定检测电阻值是否良好之判定部811e，采用上述装置，可正确执行被检测基板之导通检测。