掺杂二氧化钛之石英玻璃，ＥＵＶ微影用构件，ＥＵＶ微影用光罩基板及掺杂二氧化钛之石英玻璃的制造方法

摘要

[解决手段]含有3~12质量%之二氧化钛，该二氧化钛之浓度梯度为0.01质量%/μm以下，且厚度为6.35mm之于波长440nm中的表观穿透率为30%以上为其特征之掺杂二氧化钛之石英玻璃。;[效果]可提供予以EUV微影用光罩基板等之EUV微影用构件所要求之高表面精细度之均质性高之掺杂二氧化钛之石英玻璃，由掺杂二氧化钛之石英玻璃所构成之EUV微影用光罩基板等之EUV微影用构件为平坦度和热膨胀特性优良者。