电浆处理设备及电浆处理方法

摘要

一种电浆处理设备，包括一反应室、一承载台以及一电浆产生器。反应室具有一进气口与一抽气口。进气口用以连通一气体源，而抽气口用以连通一抽真空设备。承载台设置于反应室内，用以承载一待处理物。电浆产生器设置于反应室，用以离子化气体源所提供的气体而产生电浆。此外，电浆处理设备更包括一上盖及/或一搅拌件。上盖可活动地设置于反应室内，用以将待处理物限制于承载台与上盖之间。搅拌件配置于承载台上，用以搅拌待处理物。