具有线上粒子侦测功能之浸润式微影制程

摘要

一种浸润式微影制程系统包含：一个镜组单元自其末端投射出一图案至一晶圆上；一个防护罩单元用以限制浸润流体于该晶圆的一区域，使得浸润流体包围该镜组单元之末端；一个晶圆载物台用以放置该晶圆于接近该镜组单元之末端的位置；一个影像撷取装置耦合该晶圆载物台，且用以撷取该防护罩单元邻近该晶圆载物台之表面的影像；一个散射光侦测系统靠近该镜组单元之末端与该防护罩单元，且系用以侦测该晶圆载物台之表面上的粒子。