发明名称 感光性树脂组合物
摘要 本发明提供一种感光性树脂组合物,其包含:下述(a)聚有机矽氧烷100质量份,其系利用将以下述通式(1)所表示的至少一种矽烷醇化合物:;R12Si(OH)2 (1);{式中之基如申请专利范围中之定义}、以下述通式(2)所表示的至少一种烷氧基矽烷化合物及触媒加以混合:;R2aR3bSi(OR4)4-a-b (2);{式中之基如申请专利范围中之定义},不积极地添加水而进行聚合之方法而获得者;(b)光聚合起始剂1~50质量份;(c)以下述通式(3)所表示之茀化合物40~600质量份:;(3);{式中之基如申请专利范围中之定义};以及(d)1分子内具有1个或2个(甲基)丙烯醯基之除(c)成分以外之化合物20~300质量份。
申请公布号 TWI390354 申请公布日期 2013.03.21
申请号 TW097148555 申请日期 2008.12.12
申请人 旭化成电子材料元件股份有限公司 日本 发明人 青合菜采;小林隆昭
分类号 G03F7/075;G03F7/027;C08G77/20;C08F290/14;H01L21/027 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本