传送基板之方法、电脑可读媒体及传送系统

摘要

本发明系关于一种藉由一传送单元基于可用于此处之传送资料而将一基板自一第一基板固持器(例如，一预对准单元)传送至一第二基板固持器(例如，一微影装置中之一基板台)的方法。首先，将该基板提供于该第一基板固持器上。随后，量测该基板之一位置误差，且基于如所量测之该位置误差来计算定位调整资料。接着，根据该等定位调整资料而使该第二基板固持器相对于其一参考位置移动。最后，根据该等传送资料藉由该传送单元而将该基板自该第一基板固持器传送至该第二基板固持器，且将该基板置放于如所移动之该第二基板固持器上。