制造薄膜装置之方法

摘要

本发明提供一种制造薄膜装置的方法。在第一基材上形成牺牲层。在该牺牲层上形成薄膜叠片本体(laminated body)。形成暴露出该牺牲层的分离沟槽，用来分开该薄膜叠片本体成为至少一个薄膜装置。使用乾式蚀刻制程以部份移除该牺牲层。于部份移除该牺牲层之后，留存的牺牲层区域便维持该薄膜装置在该第一基材上。将支撑结构暂时结合到该薄膜装置。将被结合到该支撑结构的该薄膜装置从该第一基材分离，然后移除该留存的牺牲层。将被结合到该支撑结构的该薄膜装置再结合到第二基材。最后，从该薄膜装置分离该支撑结构。