基板处理装置以及基板处理方法

摘要

本发明之生成含微小气泡的液体(23)的基板处理装置( )包括：微小气泡液生成部(12)，其生成含微小气泡的液体(23)；以及异物除去机构部(30)，其从微小气泡液生成部(12)所提供的含微小气泡的液体(23)中除去异物。