| 摘要 |
本发明之课题为：将涂布有光阻并曝光后之基板加以显像时，稳定而供应显像液到基板。;为解决上述课题，本发明构成一种包含下列部分之显像装置，并因应处理而区别使用喷嘴：复数之显像处理部，各具备基板固持部；第1显像液喷嘴，共通设于该等复数之显像处理部，用以将显像液呈带状供应到固持于该基板固持部的基板之表面；驱动机构，于各显像处理部，在第1显像液喷嘴流出之显像液的带状区域之一端侧面向基板的状态下，为于基板之表面整体形成显像液的液膜，使第1显像液喷嘴移动，俾于将显像液之供应位置从基板表面的部及周缘部之其中一边，移动到另一边；第2显像液喷嘴，将显像液呈圆形或长度比该带状区域短的带状，而供应到以第1显像液喷嘴形成显像液之液膜的基板之中心部。 |
