基板用卡匣

摘要

本发明系提供一种基板用卡匣，至少与基板接触之处的构件系由含有：合成树脂30至94重量%、具有102至1010Ωcm的体积阻抗率之碳前驱体5至40重量%、及具有未满102的体积阻抗率之导电性充填材1至30重量%的树脂组成物所形成的树脂构件，且该树脂构件的电位从5000V降低至50V为止的静电消散时间(static decay time)为2秒以下。