发明名称 负型感光性含氟芳香族系树脂组成物
摘要 本发明系提供一种兼具有低相对介电常数、低吸水率、高耐热性、高生产性之负型感光性含氟芳香族系树脂组成物。;本发明系为含有下述之含氟芳香族预聚物、感光剂、溶剂之负型感光性含氟芳香族系树脂组成物。此处,含氟芳香族预聚物系为使具交联性官能基(A)及苯酚性羟基之化合物(Y-1)以及具交联性官能基(A)及氟原子取代芳香环之化合物(Y-2)中任何一方或两方、与以下述式(1)所示之含氟芳香族化合物(B)、与具3个以上苯酚性羟基之化合物(C),在脱HF剂存在下进行缩合处理所得的具有交联性官能基(A)与醚键,且数平均分子量为1×103~5×105。;…(1);(式中,n系表示0~3之整数,a、b系各表示独立的0~3之整数,Rf1、Rf2系各表示碳数8以下之含氟烷基,芳香环内之F系表示其芳香环之氢原子全部以氟原子取代)
申请公布号 TWI390348 申请公布日期 2013.03.21
申请号 TW096109181 申请日期 2007.03.16
申请人 旭硝子股份有限公司 日本 发明人 江里口武;山本弘贤;鹤冈薰
分类号 G03F7/038;C08L27/12;H01L21/027 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本