位移量测系统及其方法

摘要

一种位移量测系统，包括一同调光源、一二维光栅、一光感测器及一讯号处理装置。当同调光入射至二维光栅后，产生一零阶光束及多个一阶绕射光束。零阶光束与其中的两个一阶绕射光束在光感测器上形成不同方向的干涉条纹。因此，当二维光栅移动时，位移量测系统藉由计算不同方向的干涉条纹之相位差，而获得二维光栅于对应方向上的位移量。此外，当二维光栅旋转时，位移量测系统藉由一阶绕射光束之绕射图形的旋转角度，而获得二维光栅的旋转量。