资讯处理设备、资讯处理方法、曝光系统及电脑可读取媒体

摘要

一处理藉由曝光设备所产生之资讯的资讯处理设备。该资讯处理设备包括收集单元及转换单元。该收集单元收集该曝光设备经由使其关于定义在该基板上形成为第一阵列之复数个第一区域之每一个操作所获得到的第一设备资讯。该转换单元将藉由该收集单元关于该复数个第一区域之每一个所收集的该第一设备资讯中至少部分，转换成关于形成第二阵列之复数个第二区域之每一个的第二设备资讯。