| 摘要 |
本发明提供一种不与光阻膜引起互混，可在光阻上形成被膜，能维持不溶解析出于浸液曝光时之媒体的稳定被膜，进而，不造成在施行非浸液曝光之乾曝光时的图型形状劣化，且形成容易溶解于硷显像液的上层膜之共聚物。;其特征为含有至少一种选自具有下述式(1)表示之基的重覆单位，具有下述式(2)表示之基的重覆单位、及具有羧基之重覆单位的重覆单位(I)、与具有磺基之重覆单位(II)，藉由凝胶渗透色谱法测定之重量平均分子量为2,000~100,000。;(1)．;式中，R1及R2之至少一方为碳数1~4之氟化烷基；式(2)中，R3为碳数1~20之氟化烷基。 |
