用于至一炉之气体入口之密封装置

摘要

一种用于馈给一气体至一炉、熔炉或其类似物(例如CVI/CVD炉)中，且尤其系馈给一气体至该炉内部之一反应室结构(16)中之管道(12)具有一气密管状密封装置(32)，该密封装置在该管道外部径向延伸且界定一实际上的气密路径，该气体馈给管道沿该路径延伸。该管状密封装置较佳地为在横向方向及/或轴向方向上至少部分可挠，以便适应在该反应室内之一位置与气体馈给管道穿入该炉所经由之一位置之间的定位缺陷(该等缺陷可能系由于例如不对称热膨胀/收缩)。