Vorrichtung und Verfahren zum Formenmessen

摘要

Formmessvorrichtung (Z) zum Messen der Form einer Kante oder eines Randes einer dünnen Probe (1), mit: – einem ersten Lichtemissionsmittel (10), mit dem Licht durch Leuchten einer Lichtquelle (12) nacheinander aus einer Vielzahl von Positionen in einer Ebene unter verschiedenen Emissionswinkeln &phis;i bezüglich einer Messzone (P) emittierbar ist, wobei die Messzone (P) die Kante oder den Rand der dünnen Probe (1) enthält; – einem ersten Lichtnachweismittel (20) zum Nachweisen einer eindimensionalen oder zweidimensionalen Leuchtdichteverteilung in einem Lichtnachweisbereich des ersten Lichtnachweismittels (20) von Licht, welches von der Kante oder dem Rand der dünnen Probe reflektiert wird und welches durch das erste Lichtemissionsmittel (10) nacheinander an jeder der Vielzahl von Positionen in einer Ebene mit verschiedenen Emissionswinkeln &phis;i emittiert wird; – einem Mittel zum Erhalten einer Leuchtdichte von reflektiertem Licht von der Messzone (P) durch das erste Lichtnachweismittel (20), wenn Licht bei jedem der aufeinander folgenden verschiedenen Emissionswinkeln...