| 摘要 |
Systeme und Verfahren werden bereitgestellt für eine lokale Messung von Verunreinigungen auf Metallstücken (Metallschmelzen), die in Elektronenstrahlmetallverdampfungs/-abscheidungs-Systemen verwendet werden, und zum Erhöhen der Produktionsausbeute von Halbleiterherstellungsprozessen, die Elektronenstrahlmetallverdampfungs/-abscheidungs-Systeme verwenden. Ein Spannungs- und/oder Strompegel auf einer Elektrode, die sich in einer Abscheidungskammer eines Elektronenstrahlmetallverdampfungs/-abscheidungs-Systems befindet, wird überwacht und verwendet, um eine Verunreinigung des Metallstücks (Metallschmelze) zu messen. Sollte die Spannung oder der Strom einen bestimmten Pegel erreichen, ist die Abscheidung beendet und das System wird auf Verunreinigung geprüft. |
