Verfahren zum elektronenstrahlinduzierten Abscheiden von leitfähigem Material

摘要

Verfahren zum elektronenstrahlinduzierten Abscheiden von elektrisch leitfähigem Material, aufweisend: a. Bereitstellen zumindest eines Elektronenstrahls an einer Stelle eines Substrats (90), wobei der mindestens eine Elektronenstrahl eine Stromstärke im Intervall zwischen 1 pA und 1 nA aufweist; b. Aufbewahren von Dikobaltoktocarbonyl bei einer ersten Temperatur zum Unterdrücken einer spontanen Umwandlung von Dikobaltoktocarbonyl in Tetrakobaltdodecacarbonyl unter Bildung von Kohlenstoffmonooxid, wobei die erste Temperatur einen Bereich von 240 K bis 290 K umfasst; c. Erwärmen des Dikobaltoktocarbonyls auf zumindest eine zweite Temperatur vor dem Bereitstellen an der Stelle (90), an der der zumindest eine Elektronenstrahl auftrifft; und d. Einstellen einer Wiederholzeit und einer Verweilzeit des zumindest einen Elektronenstrahls derart, dass das abgeschiedene elektrisch leitfähige Material einen spezifischen Widerstand kleiner als 100 u&OHgr;·cm aufweist.