| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Bestimmung eines Verschmutzungsgrads einer durch Partikel (10) verunreinigten Oberfläche (8a) eines entlang einer Vorschubrichtung (X) bewegten Bandes (8), umfassend: eine Lichterzeugungseinheit (2) zur Erzeugung von Beleuchtungsstrahlung (3), eine der Lichterzeugungseinheit (2) nachgeordnete Strahlformungseinheit (4) zur Formung mindestens eines streifenförmigen Beleuchtungsstrahls (7) zur linienförmigen Beleuchtung des Oberfläche (8a) des Bandes (8) quer zur Vorschubrichtung (X), eine Detektoreinheit (5) zur Detektion von an dem Band (8) gestreuter Beleuchtungsstrahlung (S), sowie eine Auswerteeinrichtung (6) zur Bestimmung des Verschmutzungsgrads der Oberfläche (8a) anhand der detektierten Beleuchtungsstrahlung (S). Die Vorrichtung (1) kann auch zur Bestimmung von Schichtdicken an dem entlang der Vorschubrichtung (X) bewegten Band (8) genutzt werden, indem an dem Band (8) reflektierte und/oder transmittierte Beleuchtungsstrahlung (R, T) detektiert wird. |
