一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉

摘要

本实用新型实施例公开了一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉，涉及半导体材料制备技术领域，用来解决现有锁紧机构开启锁紧费时费力、自动化程度差的问题。所述区熔炉门板锁紧机构，用于实现区熔炉门板的锁紧与开启，所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜面配合的压紧块，所述压紧块固定连接有推杆，所述推杆连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述推杆往复运动以锁紧或开启所述门板。

主权项

一种区熔炉门板锁紧机构，用于实现区熔炉门板的锁紧与开启，其特征在于，所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜面配合的压紧块，所述压紧块固定连接有推杆，所述推杆连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述推杆往复运动以锁紧或打开所述门板。