| 发明名称 | 具有垂直铰链结构的微镜面器件 | ||
| 摘要 | 一个镜面器件包括：衬底上的许多电极；与至少一个电极相连的铰链；与至少和一个电极相关的铰链相接触的镜面，其中铰链和镜面间和/或铰链和电极间有一阻挡层。另外，还有一种制造这种镜面器件的器件制作方法。此外，还有由这种镜面器件组成的投影装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101595415B | 申请公布日期 | 2013.03.20 |
| 申请号 | CN200780040211.6 | 申请日期 | 2007.08.19 |
| 申请人 | 硅索株式会社 | 发明人 | 杉本直也;前田义浩;市川博敏 |
| 分类号 | G02B26/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B26/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天平专利商标代理有限公司 11239 | 代理人 | 孙刚 |
| 主权项 | 镜面器件，包括：衬底上的多个电极(908，909，914)，其中该电极具体包括有中央区域电极(914)、左右两侧电极(909a、909b)以及表面电极(908a、908b)；沿上述衬底垂直向外方向的弹性铰链(911)，其中中央区域电极(914)的上方具有第一阻挡层(910)，弹性铰链(911)与第一阻挡层(910)连接；在镜面(913)下方的部分区域有一金属层(912)，用以在消除镜面单元之间的高度差异时保证弹性铰链(911)和镜面(913)之间的电导率不发生变化；上述弹性铰链(911)连接到上述金属层(912)，并支撑顶部沿水平方向放置的镜面(913)，该弹性铰链(911)的宽度大于或等于该弹性铰链(911)的长度，该弹性铰链(911)的长度大于该弹性铰链(911)的厚度，其中弹性铰链(911)的长度小于或等于2微米，镜面(913)近似方形，边长小于或等于10微米；在金属层(912)上淀积第二阻挡层以防止镜面(913)与粘接部分相接触，所述粘接部分形成于弹性铰链(911)的上表面；左右两侧电极(909a、909b)尖端的设计应使镜面(913)的偏转角在8‑14度之间。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||