一种用于真空容器的真空抽气系统设计

摘要

一种用于真空容器的真空抽气系统主要包括低真空抽气系统、高真空抽气系统、超高真空抽气系统、真空容器测量系统以及真空容器复压系统。真空抽气管道中安装有液氮冷阱，可防止系统反油，避免污染真空容器；采用两组低真空抽气机械泵，可同时工作也可独立工作，提高系统运行可靠性；采用两组涡轮分子泵，可同时工作也可独立工作，提高系统运行可靠性；采用两组制冷机低温泵，可同时工作也可独立工作，提高系统运行可靠性；配有低温泵再生抽气系统，可进行低温泵启动前的预冷；真空抽气系统配有放气阀，防止系统返油；整个抽气系统干净清洁；真空抽气系统管道及真空容器中安装有各类真空计，实现全量程压力测量。

主权项

一种用于真空容器容积200m3级的真空抽气系统，可用于热真空试验和羽流效应研究，由低真空抽气系统、高真空抽气系统、超高真空抽气系统、真空容器测量系统以及真空容器复压系统组成；其特征在于：该系统无油、可实现真空容器的真空抽气、检漏及复压；所述的低真空抽气系统主要由干泵（1、2）、热传导真空计（3、4、17）、阀门（5、6、7、8、11、12、13、14、15、18）、罗茨机械泵（9、10）、液氮冷阱（16）组成；所述的高真空抽气系统主要包括低温泵再生抽气系统、低温泵高真空抽气系统、分子泵检漏辅助抽气系统，主要由阀门（26、27、28、29、38、39、40、41、43、45、48、42）、冷阴极电离真空计（30、31、32、33）、制冷机低温泵（34、37）、涡轮分子泵（35、36、46）、液氮冷阱（47）、机械泵（49）组成；所述的超高真空抽气系统主要由热沉组成，热沉主要布置于真空容器内，可通液氮、液氦等低温介质对真空容器进行超高真空抽气；所述的真空容器测量系统主要由真空容器（21）、热阴极电离真空计（22、25）、全量程裸规（23、24）组成；所述的真空容器复压系统主要由过滤器（19）、阀门（20）组成。