| 发明名称 | 反射折射投影物镜 | ||
| 摘要 | 一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，用于将第二中间图像成像到像面上；其中第二物镜部分包括具有第一镜面的第一凹面镜和具有第二镜面的第二凹面镜，所述凹面镜的凹面镜镜面相互面对并且定义镜间间隔；其中至少第一中间图像在几何上位于第一凹面镜和第二凹面镜之间的镜间间隔内。 | ||
| 申请公布号 | CN102207609B | 申请公布日期 | 2013.03.20 |
| 申请号 | CN201110159717.7 | 申请日期 | 2005.01.13 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 | 发明人 | D.谢弗;W.乌尔里希;A.多多克;R.冯比瑙;H.-J.曼;A.埃普勒 |
| 分类号 | G02B17/08(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B17/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邱军 |
| 主权项 | 一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，用于将第二中间图像成像到像面上；其中第二物镜部分包括具有第一镜面的第一凹面镜和具有第二镜面的第二凹面镜，所述凹面镜的凹面镜镜面相互面对并且定义镜间间隔；其中至少第一中间图像在几何上位于第一凹面镜和第二凹面镜之间的镜间间隔内，其中存在正好两个凹面镜和正好两个中间图像。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||