抛光浆料及其用途和使用方法

摘要

本发明公开了一种抛光浆料，该抛光浆料包括至少一种研磨颗粒、一种氧化剂和一种载体；该氧化剂是结合在金属有机大分子上的；本发明还公开了该抛光浆料的用途和使用方法。本发明的抛光浆料抛光衬底时可以保持高的研磨速率，抛光后的衬底表面无腐蚀、缺陷率低、平整度高。

主权项

一种抛光浆料，其包括至少一种研磨颗粒、一种氧化剂和一种载体；其特征在于该氧化剂是结合在金属有机大分子上的,其中该氧化剂为氧气，该金属有机大分子为血红蛋白、肌红蛋白和/或它们的衍生物，且该研磨颗粒的含量为0.1‑30重量%；该氧化剂的含量为0.01‑10重量%；该血红蛋白、肌红蛋白或它们的衍生物在该抛光浆料中的质量浓度为0.1‑50%，其余为其它添加化合物。