光纤传感器、压力传感器、末端执行器及传感器信号处理装置

摘要

本发明提供一种光纤传感器、压力传感器、末端执行器以及传感器信号处理装置。FBG传感器(22)具有：多个应力检测传感器部(27x、27y)，它们由排列着反射特定波长的光的光栅(26x、26y)的光纤(20x、20y)构成；以及应力方向转换部(29)，其将从外部赋予的应力转换为排列光栅(26x、26y)的方向的应力并传递给各光栅(26x、26y)。由此，应力方向转换部(29)能够将从物体赋予的应力传递给多个光栅(26x、26y)，应力的检测精度得以提高。

主权项

一种光纤传感器，其特征在于，该光纤传感器具有：多个应力检测传感器部（27x、27y、112x、114x、112y、114y、228x、228y、428x、428y、527x、527y、627x、627y），它们由排列着反射特定波长的光的光栅（26x、26y、126x、126y、127x、127y、226x、226y、426x、426y、526x、526y、626x、626y）的光纤（20、120、220、420、520、620）构成；以及应力方向转换部（29、116、230、416、530、630），其将从外部赋予的应力转换为排列上述光栅（26x、26y、126x、126y、127x、127y、226x、226y、426x、426y、526x、526y、626x、626y）的方向的应力，并传递给各上述光栅（26x、26y、126x、126y、127x、127y、226x、226y、426x、426y、526x、526y、626x、626y），上述多个应力检测传感器部（27x、27y、112x、114x、112y、114y、228x、228y、428x、428y、527x、527y、627x、627y）具有：第一应力检测传感器部（27x、112x、228x、428x、527x、627x），其沿着与水平应力的赋予方向平行且与垂直应力的赋予方向垂直的平面配置，而且具有排列着第一光栅（26x、126x、226x、426x、526x、626x）的第一光纤（20x、120x、220x、420x、520x、620x）；以及第二应力检测传感器部（27y、112y、228y、428y、527y、627y），其在与上述第一光纤（20x、120x、220x、420x、520x、620x）的长度方向不同的方向上延伸，且具有排列着第二光栅（26y、126y、226y、426y、526y、626y）的第二光纤（20y、120y、220y、420y、520y、620y），上述应力方向转换部（29、116、230、416、530、630）将上述垂直应力转换为沿着上述平面的方向的应力。