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发明名称 Antenna arrangement and plasma processing apparatus with such an arrangement
摘要
申请公布号 EP1412963(B1) 申请公布日期 2013.03.20
申请号 EP20020756544 申请日期 2002.07.18
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 WILCOXSON, MARK, H.;BAILEY, III, ANDREW, D.;KUTHI, ANDRAS;SMITH, MICHAEL, G.R.;SCHOEPP, ALAN, M.
分类号 H01J37/32;H05H1/46;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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