发明名称 |
检测移动衬底的形状变化的方法和装置 |
摘要 |
揭示了一种用于检测移动衬底的形状变化的方法,该方法:包括提供连续移动通过测量区域的连续衬底,提供与测量区域的至少一部分光连通的光学位置传感器,用激光射线照射测量区域的至少一部分内连续衬底的至少一部分,并检测激光射线的反射,然后确定连续衬底的被照射部分与光学位置传感器之间的距离。 |
申请公布号 |
CN101910782B |
申请公布日期 |
2013.03.20 |
申请号 |
CN200880124110.1 |
申请日期 |
2008.11.24 |
申请人 |
康宁股份有限公司 |
发明人 |
S·R·马卡姆 |
分类号 |
G01B11/02(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I;C03B17/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
李玲;张东梅 |
主权项 |
一种用于检测连续移动衬底形状变化的方法,所述方法包括:(a)用激光射线照射所述衬底连续移动通过的测量区域内连续移动衬底的至少一部分,(b)将光学位置传感器定位在相对于所述测量区域的预定固定位置;(c)用所述光学位置传感器检测所述激光射线的反射的至少一部分的光学位置;(d)从所述激光射线的反射的至少一部分的被检测位置确定所述连续移动衬底的所述被照射部分与所述光学位置传感器之间的距离;(e)将所述距离与预定值相比较,差值指示所述连续移动衬底的形状变化;(f)在所述连续移动衬底穿过所述测量区域之后将所述连续移动衬底切割成多件;其中反复进行步骤(c)、(d)、(e)以及(f),以及;(g)将所述反复多次的每次中所述连续移动衬底的所述被照射部分与所述光学位置传感器之间的距离相比较;以及(h)如果所述反复多次的每次中所述连续移动衬底的所述被照射部分与所述光学位置传感器之间的所述距离改变预定的量,则进行以下中的至少一个:(i)发出警报,以及(ii)识别构成所述连续移动衬底的一部分的多件中满足下列条件的任何件:即所述连续移动衬底的所述被照射部分与所述光学位置传感器之间的所述距离变化所述预定的量。 |
地址 |
美国纽约州 |