发明名称 |
镀膜机 |
摘要 |
本发明提供一种镀膜机,该镀膜机用于将待镀液体镀到至少一块基板上。所述镀膜机包括容器、转子及加热器,所述容器包括侧壁,所述至少一块基板固定于所述侧壁上,所述容器设置有入液口及排气口,待镀液体通过所述入液口注入所述容器内,所述转子用于带动所述待镀液体沿所述侧壁的圆周方向旋转,使得待镀液体覆盖所述基板,所述加热器加热所述基板,用于将所述基板表面的待镀液体蒸发,在所述基板表面形成膜结构。本发明提供的镀膜机由于可以在所述侧壁固定多块基板,所以可以同时对多块基板进行镀膜,由此大大的提高了镀膜效率。 |
申请公布号 |
CN101906611B |
申请公布日期 |
2013.03.20 |
申请号 |
CN200910302939.2 |
申请日期 |
2009.06.05 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
裴绍凯 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种镀膜机,该镀膜机用于将待镀液体镀到基板上,其特征在于,所述镀膜机包括容器、转子及加热器,所述容器包括侧壁,至少一块所述基板固定于所述侧壁上,所述容器设置有入液口及排气口,待镀液体通过所述入液口注入所述容器内,所述转子用于带动所述待镀液体沿所述侧壁的圆周方向旋转,使得待镀液体覆盖所述基板,所述加热器加热所述基板,用于将所述基板表面的待镀液体蒸发,在所述基板表面形成膜结构。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |