石墨烯量子电容测试器件及其制备方法

摘要

本发明涉及一种石墨烯量子电容测试器件及其制备方法。该方法包括：在衬底上形成栅电极引线图形、源电极引线图形和漏电极引线图形；在衬底上形成栅电极图形、源电极图形和漏电极图形，分别与该栅电极引线图形、源电极引线图形和漏电极引线图形接触；在栅电极图形上形成栅介质层图形；在栅介质层图形、源电极图形和漏电极图形上形成石墨烯层图形；以及在石墨烯层图形上对应源电极图形和漏电极图形分别形成欧姆接触层图形。本发明的石墨烯量子电容测试器件及其制备方法可提高石墨烯量子电容的测量精度。

主权项

一种石墨烯量子电容测试器件，其特征在于，包括：衬底所述衬底上形成有栅电极引线图形、源电极引线图形和漏电极引线图形；所述衬底上还形成有栅电极图形、源电极图形和漏电极图形，分别与所述栅电极引线图形、源电极引线图形和漏电极引线图形相接触；所述栅电极图形上形成有栅介质层图形；所述栅介质层图形、源电极图形和漏电极图形上形成有石墨烯层图形；以及所述石墨烯层图形上对应所述源电极图形和漏电极图形分别形成有欧姆接触层图形。