发明名称 |
混合线条的制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种混合线条的制造方法,包括以下步骤:A、在底层上依次形成材料层和第一硬掩模层;B、对第一硬掩模层光刻/刻蚀形成第一硬掩模图形;C、在材料层和第一硬掩模图形上形成第二硬掩模层;D、对第二硬掩模层光刻/刻蚀形成第二硬掩模图形;E、以第一和第二硬掩模图形为掩模,刻蚀材料层,形成第一线条和第二线条。依照本发明的混合线条制造方法,将同一层次图形按线条大小进行拆分,大线条用普通光学曝光,小线条用电子束曝光,旨在不影响图形质量的前提下大幅缩减曝光时间。同时采用2次硬掩膜方法有效的解决了I线光刻胶和电子束光刻胶相互影响的问题。 |
申请公布号 |
CN102983066A |
申请公布日期 |
2013.03.20 |
申请号 |
CN201110261526.1 |
申请日期 |
2011.09.05 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
唐波;闫江 |
分类号 |
H01L21/027(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01)I |
代理机构 |
北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 |
代理人 |
陈红 |
主权项 |
一种混合线条的制造方法,包括以下步骤:A、在底层上依次形成材料层和第一硬掩模层;B、对第一硬掩模层光刻/刻蚀形成第一硬掩模图形;C、在材料层和第一硬掩模图形上形成第二硬掩模层;D、对第二硬掩模层光刻/刻蚀形成第二硬掩模图形;E、以第一和第二硬掩模图形为掩模,刻蚀材料层,形成第一线条和第二线条。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3# |