用于执行图案对准的方法和装置

摘要

一种在多层封装中系统堆栈的制造中在直接写入机中图案化工件的第二层的方法。该工件具有第一层，第一层具有以任意放置的管芯（1502）的形式的多个电气部件。每个部件具有连接点，其中一些连接点需要连接在部件之间。第一图案，其中包括分布在第一层中的管芯的连接点的不同区域（1510）与对对准的不同要求相关。该方法包括下列步骤：a.探测在第一图案中的具有对与封装中系统堆栈的选定特征或放置的部件的对准的高要求的特别区；b.探测被允许具有对与封装中系统堆栈的其它特征的对准的较低要求的第一图案的延伸区（1510）；c.通过计算经调整的第一图案数据来变换第一图案，包括原始电路图案的变换，使得：i.在相邻特别区中的连接点在可预先设置的对准偏差参数内被对准；以及使得ii.在特别区中的相应连接点的位置之间的偏差在延伸区的连接点的图案中被补偿；d.根据经调整的图案数据将图案写在工件的层上。第一图案也可同时与第二图案匹配。

主权项

一种在多层堆栈的制造中在直接写入机中图案化工件的第二层的方法，所述工件具有第一层，所述第一层具有以任意放置的管芯的形式的多个电气部件，每个管芯具有连接点，其中一些连接点将连接在所述管芯之间，所述管芯的选择与第一图案相关，其中包括分布在所述第一层中的管芯的连接点的不同区域与对对准的不同要求相关；所述方法包括下列步骤：a.探测在所述第一图案中的具有对与所述堆栈的选定特征或所述放置的管芯的对准的高要求的特别区；b.探测被允许具有对与所述堆栈的其它特征的对准的较低要求的所述第一图案的延伸区；c.通过计算经调整的第一图案数据来变换所述第一图案，包括原始电路图案的变换，使得：i.在相邻特别区中的连接点在可预先设置的对准偏差参数内被对准；以及使得ii.在所述特别区中的相应连接点的位置之间的偏差在所述延伸区的连接点的图案中被补偿；d.根据经调整的图案数据将图案写在所述工件的层上。