| 发明名称 | 一种大视场投影物镜 | ||
| 摘要 | 本发明一种大视场投影物镜，其特征在于投影物镜光学系统沿物面依次包括：由第一凹面反射镜和第一凸面反射镜组成的第一折返光路，一前透镜组，一中间像面，一后透镜组，以及由第二凸面反射镜和第二凹面反射镜组成的第二折返光路。本发明实现了正1x放大倍率设计，满足了多个镜头成像视场的拼接需求。同时降低了对单个反射镜尺寸的需求，获得更大的曝光视场。 | ||
| 申请公布号 | CN102981255A | 申请公布日期 | 2013.03.20 |
| 申请号 | CN201110264064.9 | 申请日期 | 2011.09.07 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 武珩;黄玲 |
| 分类号 | G02B17/08(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B17/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种大视场投影物镜，其特征在于投影物镜光学系统沿物面依次包括：由第一凹面反射镜和第一凸面反射镜组成的第一折返光路，一前透镜组，一中间像面，一后透镜组，以及由第二凸面反射镜和第二凹面反射镜组成的第二折返光路。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 | ||