一种氯化氢脱氯硅烷装置

摘要

本实用新型公开了一种气体分离装置，特别是一种氯化氢脱氯硅烷装置，属于多晶硅生产技术领域，所述氯化氢脱氯硅烷装置主要包括冷凝器和气液分离器，所述冷凝器的进口与多晶硅尾气回收系统的氯化氢排放管道相连接，冷凝器的出口与气液分离器的进口相连接，本实用新型的氯化氢脱氯硅烷装置结构简单可靠，能够有效地将回收氯化氢中的氯硅烷去除，能够保证回收氯化氢的质量满足合成系统生产的工艺需求，降低了生产成本和三氯氢硅合成工序的检修频率，减少了环境污染。

主权项

一种氯化氢脱氯硅烷装置，其特征在于：主要包括冷凝器（1）和气液分离器（2），所述冷凝器（1）的进口与多晶硅尾气回收系统的氯化氢排放管道相连接，冷凝器（1）的出口与气液分离器（2）的进口相连接，所述气液分离器（2）上部设置有出气管道，下部设置有排液管道。