微机械系统中固支梁疲劳特性的电阻测量结构及测量方法

摘要

本发明公开了一种微机械系统中固支梁疲劳特性的电阻测量结构，包括衬底、固支梁、第一锚区、第二锚区、第一驱动电极、第二驱动电极和窄条电极组，窄条电极组由至少三条两端连接压焊块的窄条电极组成；各窄条电极的中部断开，形成窄条电极对；固支梁的两端固定连接在第一锚区和第二锚区上；第一驱动电极、第二驱动电极和窄条电极组位于固支梁的下方，且各窄条电极的中部均位于固支梁的正下方；第一驱动电极和第二驱动电极分布在窄条电极组的两侧，且相互对称。利用该电阻测量结构能够获取固支梁的性能因疲劳而衰变的信息。本发明还公开了一种该电阻测量结构的测量方法，该方法方便易行，结果可靠。

主权项

一种微机械系统中固支梁疲劳特性的电阻测量结构，其特征在于：所述的测量结构包括衬底（1）、固支梁（2）、第一锚区（31）、第二锚区（32）、第一驱动电极（41）、第二驱动电极（42）和窄条电极组，窄条电极组由至少三条两端连接压焊块的窄条电极组成；各窄条电极的中部断开，形成窄条电极对；第一锚区（31）、第二锚区（32）、第一驱动电极（41）、第二驱动电极（42）和窄条电极组固定连接在衬底（1）的顶面，固支梁（2）的两端固定连接在第一锚区（31）和第二锚区（32）上，且固支梁（2）处于悬空状态；第一驱动电极（41）、第二驱动电极（42）和窄条电极组位于固支梁（2）的下方，且各窄条电极的中部均位于固支梁（2）的正下方；第一驱动电极（41）和第二驱动电极（42）分布在窄条电极组的两侧，且相互对称。