处理室的高效UV清洁

摘要

本发明用于处理室的高效UV清洁，其提供一种紫外(UV)固化室，其能够对布置在衬底上的介质材料进行固化并对其进行原位清洁。串列处理室设有两个单独并相邻的处理区域，这些处理区域由盖子所覆盖的主体限定，盖子分别位于各个处理区域上方并具有对准的窗口。每个由耦合到盖子的壳体所覆盖的处理区域有一个或多个UV灯泡发射UV光，UV光被经过窗口导向位于处理区域内的衬底上。UV灯泡可以是发光二极管阵列或采用例如微波或射频源的灯泡。可以在固化处理期间以脉冲方式产生UV光。使用远程产生的氧基/臭氧和/或原位实现了室的清洁。使用灯阵列、衬底与灯头的相对运动以及灯反射器形状和/或位置的实时改变可以增强衬底照明的均匀性。

主权项

一种用于将设置在衬底上的介质材料固化的紫外(UV)固化室，包括：主体，限定彼此分离并相邻的第一和第二处理区域；盖，耦合到所述主体的顶部，以覆盖所述第一和第二处理区域，其中所述盖包括分别位于所述第一和第二处理区域上方对准的第一和第二石英窗口；第一和第二UV源，分别设置在所述第一和第二石英窗口上方；第一和第二壳体，耦合到所述盖并且分别覆盖所述第一和第二UV源；以及第一和第二反射器，分别设置在所述第一和第二壳体中，并且所述第一和第二反射器中每一个可移动，以调节由所述反射器引导到所述处理区域的UV光的图案。