一种四氯化硅氢化装置

摘要

本实用新型公开了一种四氯化硅氢化装置，包括：氢化炉，所述氢化炉包括：炉体及发热体，所述发热体用于对炉体内气体进行加热；反应料液蒸发器，所述反应料液蒸发器用于将四氯化硅气化并将气化后的四氯化硅与氢气按照设定比例混合均匀后通过输气管道通入所述氢化炉；尾气换热管，所述尾气换热管用于将所述氢化炉中反应后的尾气进行冷却降温；其中，所述尾气换热管的长度不小于4m。所述四氯化硅氢化装置可通过设定所述尾气换热管的长度控制尾气的温度，使流经所述尾气换热管的尾气的温度迅速降低至设定的温度范围，从而提高四氯化硅的转化率；同时，避免了由于尾气温度过高导致输气管道热膨胀而发生的尾气泄漏事故的发生，安全性好。

主权项

一种四氯化硅氢化装置，其特征在于，包括： 氢化炉，所述氢化炉包括：炉体及发热体，所述发热体用于对炉体内气体进行加热； 反应料液蒸发器，所述反应料液蒸发器用于将四氯化硅气化并将气化后的四氯化硅与氢气按照设定比例混合均匀后通过输气管道通入所述氢化炉； 尾气换热管，所述尾气换热管用于将所述氢化炉中反应后的尾气进行冷却降温； 其中，所述尾气换热管的长度不小于4m。