半导体器件测试系统

摘要

本发明公开了一种半导体器件测试系统。该半导体器件测试系统使作为测试头重要功能的驱动器和比较器扩展到测试头的外部部件(例如，HIFIX板)，从而能够使测试量倍增，而无需升级测试头。该半导体器件测试系统包括通过测试控制器测试半导体器件的测试头，以及在半导体器件和测试头之间建立电连接的HIFIX板，并且该HIFIX板具有被测器件(DUT)测试单元，该被测器件(DUT)测试单元通过使其具有一对测试头的驱动器来处理由半导体器件产生的读信号并且发送已处理的读信号给测试头。

主权项

一种半导体器件测试系统，包括：通过测试控制器测试半导体器件的测试头；以及在半导体器件和测试头之间建立电连接的HIFIX板，并且该HIFIX板具有被测器件测试单元，该被测器件测试单元通过使其具有一对测试头的驱动器来处理由半导体器件产生的读信号并且发送已处理的读信号给测试头；其中该被测器件测试单元包括：多个引脚电子单元，每个引脚电子单元包括用于将从测试头接收的图形信号记录到半导体器件中的HIFIX端驱动器，以及用于比较由半导体器件产生的读信号和从测试头接收的参考信号并且输出读信号和参考信号之间的比较结果的HIFIX端比较器；分别相应于多个引脚电子单元的多个数字比较器，确定HIFIX端比较器的输出信号中是否存在故障并且存储已确定的结果；用于开启或关闭测试头和多个引脚电子单元之间连接的多个开关；以及用于驱动多个开关的开关驱动器。