感光性树脂和微透镜的制造方法

摘要

本发明的课题是提供具有耐热性、高分辨率、高出光效率的微透镜用材料。作为本发明的解决问题的方法是，提供一种正型抗蚀剂组合物，含有碱溶性聚合物(A)和化合物(B)，所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单元，所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团。该正型抗蚀剂组合物具有在波长633nm下折射率为1.6以上、在波长400～730nm下透射率为80％以上的涂膜物性。本发明还提供微透镜的制造方法，该制造方法包括将正型抗蚀剂组合物涂布在基板上，并进行干燥、曝光，然后进行显影的工序。

主权项

1.一种正型抗蚀剂组合物，含有碱溶性聚合物(A)、化合物(B)和交联性化合物，所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单元，所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团，所述聚合物(A)含有式(1)所示的结构单元，且当将构成所述聚合物(A)的结构单元的总数设为1.0时，式(1)所示的结构单元的个数n1的比例满足0.3≤n1≤1.0，式(1)式(1)中，R₁表示碳原子数1～10的烷基、巯基、或碳原子数1～10的烷硫基，R₂表示羧基，R₃表示氢原子或甲基，m3表示1或2的整数，当m3＝1时，m2表示1～7的整数，m1表示满足0≤m1≤(7-m2)的整数，并且当m3＝2时，m2表示1～9的整数，m1表示满足0≤m1≤(9-m2)的整数，所述交联性化合物为式(9)或式(10)所示的交联性化合物，式(9)式(9)中，k表示2～10的整数，m表示0～4的整数，R¹表示k价的有机基团，式(10)式(10)中，k表示2～10的整数，R₁表示k价的有机基团。